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該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細(xì)現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。蝕刻液的價格哪家比較優(yōu)惠?揚(yáng)州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售電話
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機(jī),所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī),所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī),所述攪拌倉的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件。蘇州哪家蝕刻液蝕刻液哪里買如何挑選一款適合公司的蝕刻液?
很好的對注入量進(jìn)行精確控制,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實(shí)用新型的整體示意圖;圖2為本實(shí)用新型的a處放大示意圖;圖3為本實(shí)用新型的b處放大示意圖;圖4為本實(shí)用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中:1、制備裝置主體,2、高效攪拌裝置,3、過濾除雜裝置,4、翻折觀察板,401、觀察窗翻折滾輪,402、內(nèi)嵌觀察窗,5、裝置底座,6、成品罐,7、鹽酸裝罐,8、硝酸裝罐,9、熱水流入漏斗,10、加固支架,11、防燙隔膜,12、旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,13、運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,14、震蕩彈簧件,15、控制面板,16、致密防腐桿,17、攪動孔,18、注入量控制容器,19、注入量觀察刻度線,20、限流銷,21、負(fù)壓引流器,22、嵌入引流口。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例**是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖1-4,本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3。
以及一設(shè)置于基板下方的第二風(fēng)刀,其中風(fēng)刀與第二風(fēng)刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中蝕刻設(shè)備可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風(fēng)刀裝置一端而設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的另一端部。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中擋液板結(jié)構(gòu)與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中滾輪呈順時針方向轉(zhuǎn)動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風(fēng)刀裝置的風(fēng)刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中氣體遠(yuǎn)離風(fēng)刀與第二風(fēng)刀的方向分別與基板的法線方向夾設(shè)有一第三夾角。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達(dá)到上述實(shí)施目的,本實(shí)用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi)運(yùn)行;首先,設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu),其中擋液板結(jié)構(gòu)設(shè)置有復(fù)數(shù)個宣泄孔;接著,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過一噴灑裝置進(jìn)行一藥液噴灑;接續(xù),使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的風(fēng)刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。哪家公司的蝕刻液的口碑比較好?
故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生;此外,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以驅(qū)動該滾輪31轉(zhuǎn)動,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該風(fēng)刀41下端部的方向移動。步驟三s3:使用一設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10下方的風(fēng)刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠(yuǎn)離該風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4:該氣體43經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121宣泄;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中。蝕刻液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好?成都江化微的蝕刻液蝕刻液哪里買
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其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的風(fēng)刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實(shí)用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險等主要優(yōu)勢。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖。圖2:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。揚(yáng)州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售電話
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