背板材料：無氧銅(OFC)–目前經常使用的作背板的材料。因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性，而且比較容易機械加工。如果保養(yǎng)適當，無氧銅背板可以重復使用10次甚至更多。鉬(Mo)–在某些使用條件比較特殊的情況下，如需要進行高溫貼合的條件下，無氧銅容易被氧化和發(fā)生翹曲，所以會使用金屬鉬為背板材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數無法與無氧銅匹配，同樣也需要使用金屬鉬作為背板材料。不銹鋼管(SST)–目前**常使用不銹鋼管作為旋轉靶材的背管，因為不銹鋼管具有良好的強度和導熱性而且非常經濟。

背板重復使用大部分背板可以重復使用，尤其是采用金屬銦進行貼合的比較容易進行清潔和重新使用。如果是采用其他貼合劑（包括環(huán)氧樹脂）則可能需要采用機械處理的方式對背板表面處理后才能重復使用。當我們收到用戶提供的已使用過的背板后，我們會首先進行卸靶處理（如適用）并且對背板進行完全檢查，檢查的重點包括背板的平整度，完整性及密封性等。我們會通知用戶對背板的檢查結果，如我們發(fā)現(xiàn)有需要維修的地方會書面通知客戶并提供維修報價。鈣鈦礦太陽電池在短短數十年間不斷刷新轉換效率。安徽光伏行業(yè)陶瓷靶材市場價

主要PVD方法的特點：（3）濺射鍍膜：在濺射鍍膜過程中，濺射靶材需要安裝在機臺中完成濺射反應，濺射機臺專業(yè)性強、精密度高，市場長期被美國、日本跨國集團壟斷。（4）終端應用：1）半導體芯片：單元器件中的介質層、導體層與保護層需要鉭、鎢、銅、鋁、鈦等金屬。2）平板顯示器件：為了保證大面積膜層的均勻性，提高生產率和降低成本，濺射技術鍍膜需要鉬、鋁、ITO等材料；3）薄膜太陽能電池——第三代，濺射鍍膜工藝是被優(yōu)先選用的制備方法，靶材是不可或缺的原材料；4）計算機儲存器：磁信息存儲、磁光信息存儲和全光信息存儲等。在光盤、機械硬盤等記錄媒體，需要用鉻基、鈷基合金等金屬材料。河北ITO陶瓷靶材一般多少錢透明導電薄膜的種類很多，主要有 ITO，TCO，AZO 等，其中 ITO的性能比較好。

磁控濺射的工作原理簡單說就是利用磁場與電場交互作用，氬離子轟擊靶材表面，同時也把動能傳導進去，隨后靶材表面的原子就被轟擊出來，從不同角度飛向基片，在其表面凝集沉積形成一層薄膜?！斑@層薄膜非常薄，往往都在納米量級，是人類肉眼看不見的，而一支10毫米厚的靶材所鍍的薄膜面積可達幾萬甚至十幾萬平方米，鍍膜后產生的價值遠超過靶材本身的價值，靶材起的作用非常關鍵，所以我常將靶材稱為小而美、小而精的材料?！薄皠e小看這些薄膜材料，它們是很多功能器件得以大顯神威的主要材料。”

氧化鈮靶材根據其鍍膜工藝的不同分為平面靶材和旋轉靶材兩種,所需的氧化鈮純度均要求達到99.95%,但對氧化鈮的物理性能指標要求不同。平面靶材的生產使用熱壓法,要求氧化鈮粉末粒度細且均勻,成形性能好;旋轉靶材采用熱噴涂法生產,要求氧化鈮具有良好的流動性及嚴格的粒度范圍。旋轉靶材是近些年新發(fā)展的一種靶材,與傳統(tǒng)的平面靶材相比,旋轉靶材相對于平面靶材具有很多的優(yōu)點： 1、利用率高（70％以上）,甚至可以達到90％; 2、濺射速度快,為平面靶的2-3倍; 3、有效地減少打弧和表面掉渣,工藝穩(wěn)定性好等優(yōu)點,因此近年來逐步替代了平面靶材。 針對國內尚未能生產靶材級高純氧化鈮的現(xiàn)狀,在現(xiàn)有氧化鈮濕法冶金生產工藝的基礎上,以高純鈮液為原料,通過噴霧干燥造粒的方法實現(xiàn)對氧化鈮產品粒度和粒形的控制,制取滿足氧化鈮靶材尤其是氧化鈮旋轉靶材生產要求的球形高純氧化鈮產品。產品純度為99.95%、粒形為球形、粒度大小范圍為50-150μm的高純氧化鈮產品。與國外同行生產廠家以高純氧化鈮產品為原料,需經過球磨、制漿、造粒、焙燒的工藝流程相比,具有工藝流程簡單,生產成本低,粒度可控,產品成品率高的特點。產品完全能夠滿足生產氧化鈮旋轉靶材的要求。陶瓷靶材的種類很多,應用范圍廣,主要用于微電子領域,顯示器用,存儲等領域.

陶瓷靶材的制備工藝烘料:稱量前將起始原料置于烘箱中烘料3~6小時,烘料溫度為100~120℃;配料:將烘干的原料按照相應的化學計量比稱量;球磨:將稱量好的原料以某種制備方式混料,混料時間為4~12小時,制成均勻漿料;干燥:將制得的均勻漿料烘干;煅燒:將烘干的粉料過篩并輕壓成塊狀坯體置于馬弗爐中,在800~950℃煅燒4~8小時,制成煅燒粉料;球磨:將煅燒后的粉料研磨成細粉,再次球磨、烘干得到陶瓷粉料;制坯:將制成的陶瓷粉料采用鋼模手壓成直徑5~20mm、厚度約0.5~1.2mm的樣片,將樣片放入冷等靜壓機中,施加200~350MPa的壓力,保壓60~180s,制成所得陶瓷坯體;燒結:將制成的陶瓷坯體置于馬弗爐中,在1100~1200℃燒結4~6小時;冷卻:自然冷卻至室溫,即制得某種陶瓷靶材.注:提供的溫度、時間只當做參考數據.陶瓷靶材的特性要求純度:陶瓷靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產品的質量的一致性越好.密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度.成分與結構均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤其在復雜的大面積鍍膜應用中,必須做到靶材成分與結構均勻性好.AZO薄膜與ITO薄膜方塊電阻以及電阻率之間的差距逐步縮小。中國香港氧化鋅陶瓷靶材多少錢

ITO靶材被廣泛應用于各大行業(yè)之中。安徽光伏行業(yè)陶瓷靶材市場價

平板顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產品生產環(huán)節(jié)需要使用靶材濺射鍍膜，主要用于制作ITO玻璃及觸控屏電極，用量比較大的是氧化銦錫（ITO）靶材，其次還有鉬、鋁、硅等金屬靶材。1）平板顯示面板的生產工藝中，玻璃基板要經過多次濺射鍍膜形成ITO 玻璃，然后再經過鍍膜，加工組裝用于生產LCD 面板、PDP 面板及OLED 面板等；2）觸控屏的生產則還需將ITO 玻璃進行加工處理、經過鍍膜形成電極，再與防護屏等部件組裝加工而成。采用硅靶材濺鍍形成的二氧化硅膜則主要起增加玻璃與ITO 膜的附著力和平整性、表面鈍化和保護等作用，MoAlMo（鉬鋁鉬）靶材鍍膜后蝕刻主要起金屬引線搭橋的作用。此外，為了實現(xiàn)平板顯示產品的抗反射、消影等功能，還可以在鍍膜環(huán)節(jié)中增加相應膜層的鍍膜。安徽光伏行業(yè)陶瓷靶材市場價

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